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        光學電子凈化工程

        光學電子凈化工程是將一定范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而設計出的密閉空間。光學電子凈化工程已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等行業不可或缺的主要設施。

        系統組成

        • 潔凈區

          空氣懸浮粒子濃度
          受控的限定空間

        • 潔凈輔助區

          凈化用房
          物料凈化室
          部分生活用房

        • 管理區

          辦公、值班
          及管理用房

        • 設備區

          凈化空調設備
          電氣設備
          冷熱設備和高純水
          高純氣管道設備

        等級標準

        潔凈室(區)空氣潔凈級別表

        潔凈室級別 塵粒最大允許數/立方米
        ≧0.5μm塵粒數
        ≧0.5μm塵粒數 微生物最大允許數
        (浮游菌/立方米)
        沉降菌/皿
        100級 3500 0 5 1
        1000級 350000 2000 100 3
        10000級 3500000 20000 500 10
        30000級 10500000 60000 1000 15

        光學微電子凈化工程換氣參數

        換氣次數 100000級≧15次
        10000級≧20次
        1000級≧30次
        壓差 主車間對相鄰房間≧5pa
        平均風速 10級、100級 0.3~0.5m/s 溫濕度 冬季﹥16℃
        夏季﹤26℃波動±2℃
        濕度45~65%
        GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜
        電子車間濕度略高以免產生靜電
        噪音 ≦65db(A)
        新風補充量 新風補充量是總風量的10%~30%
        照度 300LX

        解決方案

        應用領域

        品牌展示

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